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王理明
作品数:
18
被引量:6
H指数:2
供职机构:
中国科学院电工研究所
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
生物学
自动化与计算机技术
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合作作者
顾文琪
中国科学院电工研究所
张福安
中国科学院电工研究所
张春野
中国科学院电工研究所
林云生
中国科学院电工研究所
高钧
中国科学院电工研究所
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张福安
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 亚微米 电子束 缩小投影电子束曝光
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顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
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张春野
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:生物芯片 DY 点样机器人 控制系统 重复定位精度
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林云生
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:原子力显微镜 扫描探针显微镜 AFM SPM 扫描器
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高钧
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:生物芯片 机械结构 场致发射 硅 反应离子刻蚀
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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吴岚军
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:生物芯片 光栅尺 比较仪 隔板 电流引线
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张今朝
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光 电子束曝光机 图形发生器 软件系统 图形文件格式
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唐晖
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 高速摄影 放电过程 线切割加工
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康念坎
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电子束 电子光学 磁透镜 电子枪 电子光学系统
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