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刘璟
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
谢元禄
中国科学院微电子研究所
霍长兴
中国科学院微电子研究所
张坤
中国科学院微电子研究所
张君宇
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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谢元禄
供职机构:中国科学院微电子研究所
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霍长兴
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 主控芯片 固态硬盘 擦除 闪存
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张坤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 固态硬盘 主控芯片 擦除 闪存
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霍宗亮
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研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
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张满红
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研究主题:存储器 俘获 浮栅 纳米晶 阻挡层
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王琴
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 浮栅 纳米晶 俘获 硅衬底
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吕杭炳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电阻 选通 微电子
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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