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高阵雨
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国家自然科学基金委员会
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国家自然科学基金
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电气工程
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合作作者
王长锐
国家自然科学基金委员会
陈钟
国家自然科学基金委员会
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
胡金春
清华大学机械工程学院精密仪器与...
王岐东
国家自然科学基金委员会
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王长锐
供职机构:国家自然科学基金委员会
研究主题:国家自然科学基金 国家自然科学 基金改革 联合基金 国家杰出青年科学基金
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陈钟
供职机构:国家自然科学基金委员会
研究主题:国家杰出青年科学基金 国家自然科学基金 科学基金 学术带头人 基金申请
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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王岐东
供职机构:国家自然科学基金委员会
研究主题:国家自然科学基金 基金项目评审 基金 联合基金 大尺寸测量
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郑知敏
供职机构:国家自然科学基金委员会
研究主题:国家自然科学 国家自然科学基金 国家自然科学基金项目 受理 原创
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李志兰
供职机构:国家自然科学基金委员会
研究主题:国家自然科学基金 国家自然科学 联合基金 国家自然科学基金项目 受理
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成荣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
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王岩
供职机构:国家自然科学基金委员会
研究主题:国家自然科学基金 联合基金 国家自然科学 科学基金 基金改革
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李铭禄
供职机构:国家自然科学基金委员会
研究主题:国家自然科学基金 科学基金 企业 影响因素 突发事件
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