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阎岩

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：环境科学与工程自动化与计算机技术更多>>

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黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丹
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光阑 平行光管 球差 激光雷达 连续采样
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永凯
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张维新
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光阑 平行光管 在线检测装置 光学元件 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王树森
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：平行光管 在线检测装置 光学元件 分光镜 光阑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄立华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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