您的位置： 专家智库 > >

许静

作品数：146 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信交通运输工程建筑科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 27个电子电信
  • 17个自动化与计算...
  • 14个一般工业技术
  • 14个文化科学
  • 12个经济管理
  • 11个电气工程
  • 11个理学
  • 9个化学工程
  • 9个金属学及工艺
  • 8个交通运输工程
  • 5个机械工程
  • 4个建筑科学
  • 4个农业科学
  • 3个生物学
  • 3个矿业工程
  • 3个轻工技术与工...
  • 2个天文地球
  • 2个医药卫生
  • 1个水利工程
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 28个半导体
  • 26个刻蚀
  • 24个源区
  • 23个堆叠
  • 23个栅极
  • 23个退火
  • 22个短沟道
  • 22个短沟道效应
  • 21个导体
  • 21个叠层
  • 21个选择性刻蚀
  • 20个电阻
  • 20个氧化物
  • 18个电路
  • 16个氮化
  • 14个氮化硅
  • 14个电流
  • 13个导电
  • 12个单晶
  • 10个导电材料

机构

  • 28个中国科学院微...
  • 6个清华大学
  • 2个贵州大学
  • 2个北京大学
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学技术...
  • 1个贵州民族大学
  • 1个浙江大学
  • 1个遵义师范学院
  • 1个中国科学院微...
  • 1个杭州中科微电...
  • 1个华进半导体封...

资助

  • 12个国家自然科学...
  • 12个国家科技重大...
  • 11个国家重点基础...
  • 8个中国科学院“...
  • 3个北京市自然科...
  • 3个国家高技术研...
  • 2个北京市科技新...
  • 1个贵州省科学技...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个国家社会科学...
  • 1个浙江省科技攻...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个浙江省重大科...
  • 1个贵州省自然科...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个北京市科委项...
  • 1个贵州科学技术...
  • 1个贵州省高层次...
  • 1个贵州省优秀科...
  • 1个国家电网公司...

传媒

  • 16个半导体技术
  • 15个微电子学
  • 12个微纳电子技术
  • 8个真空科学与技...
  • 6个中国科技成果
  • 6个2013‘全...
  • 5个微纳电子与智...
  • 4个科技创新导报
  • 3个Journa...
  • 3个物理学报
  • 3个材料导报
  • 3个稀有金属
  • 3个传感技术学报
  • 3个电子工业专用...
  • 3个光通信研究
  • 2个电子科技
  • 2个科学通报
  • 2个光学学报
  • 2个微电子学与计...
  • 2个高科技与产业...

地区

  • 28个北京市
  • 1个贵州省
共 29 条 记 录，以下是 1-10
罗军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫江
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐兆云
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王红丽
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 集成度 刻蚀 埋氧层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨萌萌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 集成度 衬底 半导体材料 浮体效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛淑娟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 功函数 金属硅化物 源区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈邦明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 集成度 半导体材料 衬底 浮体效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0