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宫昌萌

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 3个一般工业技术
  • 2个机械工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个交通运输工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个理学
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  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个建筑科学
  • 1个环境科学与工...
  • 1个医药卫生
  • 1个文化科学

主题

  • 3个多孔硅
  • 2个单壁
  • 2个单壁碳纳米管
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅
  • 2个氮化硅
  • 2个弹性介质
  • 2个弹性梁
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  • 2个等温凝固
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  • 1个大线
  • 1个带宽
  • 1个单端
  • 1个单分子
  • 1个单分子层
  • 1个单晶硅片
  • 1个单模

机构

  • 3个中国科学院
  • 2个中国科学院上...
  • 1个华东师范大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学院研...
  • 1个中科院上海微...

资助

  • 3个国家重点基础...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个浙江省教育厅...
  • 2个浙江省自然科...
  • 2个上海-AM基...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个教育部“优秀...
  • 1个教育部科学技...
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  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个上海市高校选...
  • 1个宁波市自然科...
  • 1个“上海－应用...
  • 1个高等学校全国...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个国家重点实验...

传媒

  • 3个传感技术学报
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  • 3个第八届中国微...
  • 2个工程设计学报
  • 2个传感器技术
  • 2个半导体技术
  • 2个电子与信息学...
  • 2个Journa...
  • 2个机械工程学报
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  • 2个航空学报
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  • 2个固体电子学研...
  • 1个光电子．激光
  • 1个红外与激光工...
  • 1个移动通信

地区

  • 3个上海市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
包晓清
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：多孔硅 阳极氧化 光子晶体 机械系统 离子束刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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