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高慧莹

作品数：11 被引量：38H指数：4
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 9个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 2个机械工程
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程

主题

  • 5个化学机械抛光
  • 5个机械抛光
  • 4个压力控制
  • 4个抛光
  • 4个晶圆
  • 3个正交
  • 3个正交试验
  • 3个抛光机
  • 3个去除率
  • 3个温度
  • 3个温度控制
  • 3个蓝宝
  • 3个蓝宝石
  • 3个PG
  • 3个CMP
  • 3个CMP工艺
  • 2个多芯片
  • 2个信号
  • 2个直线度
  • 2个蠕动泵

机构

  • 9个中国电子科技...
  • 1个西北工业大学

资助

  • 6个国家高技术研...

传媒

  • 9个电子工业专用...
  • 2个电子工艺技术
  • 1个机械科学与技...
  • 1个科技资讯
共 9 条 记 录，以下是 1-9
刘涛
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 泵头 蠕动泵 压力控制 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
费玖海
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 温度控制 CMP工艺 PG
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘洋
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：粘片机 钢带传动 欧拉公式 张紧力 卡槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左宁
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：自动检测系统 图像对准 测试点 MODBUS通讯协议 PLC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
艾博
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：数据采集 串行总线 MODBUS_RTU协议 数据采集平台 实时监测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈学森
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：多线切割机 齿轮系统 混沌控制 时变啮合刚度 时变刚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗杨
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP工艺 PG 蓝宝石 抛光机 晶圆测试
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙振杰
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 泵头 蠕动泵 CMP 温度控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张领强
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：压力控制 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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