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马天宇
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
杨飞
中国科学院微电子研究所
孙艳
中国科学院微电子研究所
叶甜春
中国科学院微电子研究所
阮文彪
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
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杨飞
供职机构:中国科学院微电子研究所
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阮文彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:冗余 版图 集成电路版图 金属 版图设计
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
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孙艳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:网格 金属 冗余 CMP 仿真方法
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方晶晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
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李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
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刘宏伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面形貌 仿真方法 形貌 CMP工艺 CMP
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张贺
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 CMP 网格 冗余 仿真方法
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胡超
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:集成电路版图 互连线 冗余 版图 信号线
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