2025年3月26日
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石鹏
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厦门大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
陈旭远
厦门大学
傅万里
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伞海生
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杜永刚
厦门大学
张玉龙
厦门大学
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陈旭远
供职机构:厦门大学
研究主题:红外光源 MEMS 微机电系统 压力传感器 微电子机械系统
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傅万里
供职机构:厦门大学
研究主题:压力传感器 微电子机械系统 汽车工业用 MEMS 红外光源
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伞海生
供职机构:厦门大学
研究主题:无线无源 压电 红外光源 陶瓷 温度传感器
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杜永刚
供职机构:厦门大学
研究主题:MEMS 压力传感器 红外光源 微电子机械系统 中试
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张春权
供职机构:厦门大学
研究主题:键合 聚二甲基硅氧烷 微电子机械系统 PECVD PDMS
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张玉龙
供职机构:厦门大学
研究主题:CO2 激光直写 激光加工 微流控芯片 CO2激光
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谷丹丹
供职机构:厦门大学
研究主题:微机电系统 压力传感器 液相 分离式 硅基
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