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王长涛

作品数：214 被引量：61H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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赵泽宇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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王彦钦
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 衍射 表面等离子体 光刻 掩模
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刘玲
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 超分辨 光刻 湿法腐蚀 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄成
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射 多层膜 超分辨 沟槽 天线
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冯沁
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 多层膜 膜层 湿法腐蚀
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刘凯鹏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 光刻 超分辨 膜层 湿法腐蚀
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杨磊磊
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：多层膜 光刻 超分辨 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶兴
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射 超分辨 多层膜 光刻 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡承刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：湿法腐蚀 光刻 压模 表面等离子体 衍射
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