2024年7月17日
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熊志刚
作品数:
3
被引量:14
H指数:2
供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
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国家重点基础研究发展计划
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理学
一般工业技术
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合作作者
陈弘达
中国科学院半导体研究所
张道中
中国科学院物理研究所
金爱子
中国科学院物理研究所
许兴胜
中国科学院半导体研究所
孙增辉
中国科学院半导体研究所
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金爱子
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
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张道中
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:光子晶体 光镊 光子带隙 准相位匹配 二维光子晶体
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陈弘达
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光子晶体 垂直腔面发射激光器 电极 硅基 CMOS
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许兴胜
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光子晶体 垂直腔面发射激光器 二维光子晶体 键合 聚合物光纤
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杜伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光子晶体 垂直腔面发射激光器 出光效率 单模 电子束曝光
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孙增辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光子晶体 面发射激光器 CMOS CMOS工艺兼容 光电探测器
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鲁琳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光子晶体 垂直腔面发射激光器 列阵 出光效率 单模
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