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张健

作品数：6 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
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  • 3个上海市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈德新
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：定子 热电堆 特性分析 微电机 压电超声马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨根庆
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子注入 小卫星 单粒子瞬态脉冲 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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