2025年1月10日
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孙晓
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐德辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴国强
中国科学院上海微系统与信息技术...
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徐德辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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所获资助
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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吴国强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 感应电动势 干法刻蚀 温度影响
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