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张洪泽
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供职机构:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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合作作者
范亚明
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张立国
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
王劼
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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王劼
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:CVD设备 层流 MOCVD CVD 复数
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范亚明
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:MOCVD GAN 衬底 CVD设备 工件
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张立国
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:CVD设备 高温 工件 衬底 石墨
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