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7 条 记 录,以下是 1-7
李兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王佳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子技术 微电子 启辉 真空室 衬底温度
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刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 INP 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张育胜
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 硅片 辉光放电 辉光 金属电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张永利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 硅片 辉光放电 辉光 金属电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建海
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:反应离子刻蚀 离子刻蚀 谐振频率 偏压 匹配器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄清华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:LNA X波段 功率放大器 低噪声放大器 低噪声
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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