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陈倩文
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清华大学
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合作作者
王喆垚
清华大学
刘理天
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宋崇申
清华大学
蔡坚
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唐浩
清华大学
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王喆垚
供职机构:清华大学
研究主题:键合 三维集成电路 辅助圆 圆片 高深宽比
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 硅 压力传感器 微机械
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宋崇申
供职机构:清华大学
研究主题:三维集成电路 辅助圆 高深宽比 圆片 刻蚀
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蔡坚
供职机构:清华大学
研究主题:封装结构 封装方法 芯片 键合 基板
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唐浩
供职机构:清华大学
研究主题:存储介质 电子设备 绝缘衬底 金属互连线 传感器
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供职机构:清华大学
研究主题:传感器 信号处理电路 绝缘衬底 金属互连线 传感器芯片
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谭智敏
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统
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黄翠
供职机构:清华大学
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吕建强
供职机构:清华大学
研究主题:传感器芯片 集成技术 机械装置 内侧面 模版
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