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阚娅
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中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
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合作作者
田扬超
中国科学技术大学核科学技术学院...
洪义麟
中国科学技术大学核科学技术学院...
胡一贯
中国科学技术大学核科学技术学院...
张新夷
中国科学技术大学核科学技术学院...
刘刚
中国科学技术大学核科学技术学院...
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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胡一贯
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻 光刻掩模 LIGA技术 微细加工 LIGA
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张新夷
供职机构:复旦大学物理教学实验中心
研究主题:GAAS 砷化镓 软X射线 XAFS 光电子能谱
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刘刚
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
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付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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陶晓明
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶
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郭育华
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:脱模 有限元方法 LIGA PMMA 光刻
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朱学林
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:PMMA 键合强度 脱模 有限元方法 微流控芯片
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刘刚
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 光栅 水体 微流控芯片 成像
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