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王利臣
作品数:
6
被引量:2
H指数:1
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
周志刚
清华大学材料科学与工程系
杨开明
清华大学
王玲玲
清华大学
周和平
清华大学
朱煜
清华大学
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周志刚
供职机构:清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
研究主题:化学传感器 铁电陶瓷 传感器 PTCR陶瓷 BATIO
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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周和平
供职机构:清华大学
研究主题:燃烧合成 氮化铝 钛酸锶钡 陶瓷材料 显微结构
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王玲玲
供职机构:清华大学
研究主题:晶界层电容器 钛酸锶 晶须 结构部件 多层叠片
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成荣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
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