您的位置： 专家智库 > >

李金儒

作品数：12 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 17个电子电信
  • 12个自动化与计算...
  • 9个一般工业技术
  • 9个理学
  • 6个机械工程
  • 5个金属学及工艺
  • 5个文化科学
  • 4个电气工程
  • 4个轻工技术与工...
  • 3个经济管理
  • 2个化学工程
  • 2个交通运输工程
  • 2个农业科学
  • 1个矿业工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个环境科学与工...
  • 1个医药卫生
  • 1个自然科学总论

主题

  • 17个电子束直写
  • 17个光刻
  • 17个光刻技术
  • 16个电子束曝光
  • 16个微光刻
  • 16个光学
  • 15个电子束光刻
  • 15个电子束曝光系...
  • 15个微光刻技术
  • 14个微电子
  • 14个微细
  • 14个微细加工
  • 11个掩模
  • 10个电子束
  • 9个电路
  • 8个电子束抗蚀剂
  • 7个电子束光刻技...
  • 6个单电子器件
  • 6个等离子体刻蚀
  • 6个电极

机构

  • 17个中国科学院微...
  • 5个中国科学院微...
  • 4个中国科学院
  • 3个北京大学
  • 2个南京大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个兰州大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个清华大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个湛江师范学院
  • 1个中国工程物理...
  • 1个中国科学院长...
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 17个国家重点基础...
  • 15个国家自然科学...
  • 9个国家高技术研...
  • 5个国家科技重大...
  • 3个国家攀登计划
  • 3个国家重大科学...
  • 3个全球变化研究...
  • 3个中国科学院知...
  • 3个中国科学院重...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个北京市科技计...
  • 2个“九五”国家...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个中国科学院战...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个国家电网公司...
  • 1个国家教育部博...

传媒

  • 15个Journa...
  • 15个第十四届全国...
  • 13个微细加工技术
  • 11个微电子学
  • 11个第十三届全国...
  • 9个微纳电子技术
  • 7个电子器件
  • 7个第十二届全国...
  • 7个2010(第...
  • 6个半导体技术
  • 6个物理学报
  • 6个第二届全国纳...
  • 5个光电工程
  • 5个固体电子学研...
  • 5个第十二届全国...
  • 5个第十五届全国...
  • 4个物理
  • 4个纳米技术与精...
  • 4个第十一届全国...
  • 4个中国科协第五...

地区

  • 12个北京市
  • 1个四川省
  • 1个广东省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵珉
供职机构：湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤跃科
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛丽君
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡勇
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：微光刻技术 光学 电子束直写 电子束曝光系统 数据处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任黎明
供职机构：北京大学
研究主题：石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 电子束光刻 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王琴
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 浮栅 纳米晶 俘获 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立辉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 单电子晶体管 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0