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李金儒
作品数:
12
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈宝钦
中国科学院微电子研究所纳米加工...
赵珉
湛江师范学院信息科学与技术学院
汤跃科
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
薛丽君
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
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赵珉
供职机构:湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
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汤跃科
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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薛丽君
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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胡勇
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:微光刻技术 光学 电子束直写 电子束曝光系统 数据处理
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任黎明
供职机构:北京大学
研究主题:石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
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陆晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束直写 电子束光刻 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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王琴
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 浮栅 纳米晶 俘获 硅衬底
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张立辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:单电子晶体管 电子束直写 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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