2024年8月20日
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战长青
作品数:
5
被引量:23
H指数:2
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家攀登计划
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相关领域:
机械工程
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电子电信
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合作作者
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
庞江涛
清华大学信息科学技术学院微电子...
钱佩信
清华大学信息科学技术学院微电子...
谭智敏
清华大学信息科学技术学院微电子...
李志坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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供职机构
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庞江涛
供职机构:清华大学
研究主题:微流量传感器 微流量 微机械 微电子机械系统 微型泵
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钱佩信
供职机构:清华大学
研究主题:SIGE SIGE_HBT HBT SOI 锗化硅
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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谭智敏
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统
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罗台秦
供职机构:香港科技大学
研究主题:SOI 硅 MOSFET SIGE异质结双极晶体管 双极晶体管
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