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张庆钊

作品数：48 被引量：26H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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合作作者

领域

  • 36个电子电信
  • 29个理学
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  • 3个自然科学总论
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主题

  • 35个刻蚀
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  • 13个金属电极
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机构

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  • 1个南京大学
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资助

  • 32个国家自然科学...
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  • 20个国家重点基础...
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传媒

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  • 13个光电工程
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  • 8个物理
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  • 7个光学精密工程
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  • 7个无机材料学报
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地区

  • 35个北京市
  • 3个四川省
  • 1个广东省
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
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李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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席峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：启辉 电极 等离子体 等离子刻蚀 进气结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭晓龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：真空设备 微波 干燥装置 硅片 微细结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘训春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：晶体管 HBT 电子束曝光 INP 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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