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张俊峰
作品数:
5
被引量:11
H指数:3
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
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发文基金:
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合作作者
李以贵
上海交通大学微纳米科学技术研究...
高阳
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨春生
上海交通大学微纳米科学技术研究...
刘景全
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张冠
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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高阳
供职机构:上海交通大学
研究主题:声表面波 奥氏体不锈钢 含铝 超临界 微机电系统技术
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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刘景全
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
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张冠
供职机构:上海交通大学
研究主题:声表面波 雾化器 微驱动器 陀螺仪 声表面波器件
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惠春
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题:PZT 聚对二甲苯 微电极阵列 水热合成 气敏传感器
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