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文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电路技术
  • 1篇仪表
  • 1篇微流量
  • 1篇微流量传感器
  • 1篇流量传感器
  • 1篇流量检测仪
  • 1篇流量检测仪表
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  • 1篇集成电路技术
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  • 1篇检测仪表
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  • 1篇测量范围
  • 1篇差压
  • 1篇差压传感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇汤淑芬
  • 1篇牛德芳
  • 1篇臧翠荣
  • 1篇马灵芝
  • 1篇周丽芳
  • 1篇王秀华
  • 1篇张永彩

年份

  • 1篇1997
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
一种新型微流量传感器
本实用新型是在半导体材料硅基体上利用微机械加工技术研制一种层流式节流装置和压力腔,并用集成电路技术加工成一个压阻式差压传感器,实现节流、压力检测一体化的一种新式流量传感器,并具有温度补偿功能,该传感器测量范围宽、精度高、...
牛德芳马灵芝周丽芳张永彩汤淑芬王秀华臧翠荣
文献传递
共1页<1>
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