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王明权
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李战伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
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王明权
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1篇
电子工业专用...
年份
1篇
2009
1篇
2007
1篇
2006
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划片机工作台直线度的设计与实现
被引量:3
2007年
依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度。依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法。
王明权
李战伟
关键词:
误差分析
直线度
光栅测长闭环控制精密分度台
本发明公开了一种光栅测长闭环控制精密分度台,其特征在于它的结构包括:工作台下导轨、安装于工作台下导轨上的直线滚动导轨、与直线滚动导轨配合连接的工作台上导轨、通过支承架和丝杠支撑座分别固定于工作台下导轨上的向心轴承和角接触...
王宏智
王明权
王定临
文献传递
光栅测长闭环控制精密分度台
本发明公开了一种光栅测长闭环控制精密分度工作台,其特征在于它的结构包括:工作台下导轨、安装于工作台下导轨上的直线滚动导轨、与直线滚动导轨配合连接的工作台上导轨、通过支承架和丝杠支撑座分别固定于工作台下导轨上的向心轴承和角...
王宏智
王明权
王定临
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