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任英

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：四川联合大学材料科学与工程学院无机材料系更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇天线
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇MPCVD

机构

  • 1篇四川联合大学

作者

  • 1篇冉均国
  • 1篇芶立
  • 1篇郑昌琼
  • 1篇任英

传媒

  • 1篇第三届中国功...

年份

  • 1篇1998
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
天线耦合式MPCVD制备大面积金刚石薄膜的研究
本文研究了天线耦合式MPCVD制备金刚石薄膜的特点,考察了气体压力、甲烷浓度、输出功率及基体位置对沉积面积及沉积薄膜均匀性的影响,并成功地制备出直径为60mm～80mm的金刚石薄膜,比常用的表面波耦合MPCVD设备制备的...
任英冉均国芶立郑昌琼
关键词：金刚石薄膜
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