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杨莎莉

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇等离子体
  • 2篇磁化
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体源
  • 1篇电离
  • 1篇电离度
  • 1篇直流
  • 1篇直流电
  • 1篇射频
  • 1篇热电子
  • 1篇二次电子

机构

  • 2篇华中科技大学

作者

  • 2篇杨莎莉
  • 1篇姜巍
  • 1篇张雅

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2017
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种射频和直流混合驱动的磁化容性耦合等离子体源
本发明公开了一种射频和直流混合驱动的磁化容性耦合等离子体源，包括等离子体放电腔室、进气口、出气口、第一极板、第二极板、衬底、直流电源、射频电源和磁场发生器；第一极板和第二极板相互平行设置在等离子体放电腔室内，直流电源的一...
姜巍杨莎莉张雅
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磁化容性耦合等离子体的PIC/MCC模拟研究
低气压下的容性耦合等离子体源（Capacitively Coupled Plasma，CCP）具有装置结构简单和成本经济的优点，被广泛应用于微电子工业中。随着微电子工业的飞速发展，工艺技术对等离子体源的要求越来越高，一些...
杨莎莉
文献传递
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共1页<1>
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