邢丰
- 作品数：2 被引量：17H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 高性能永磁同步平面电机及其关键技术发展综述被引量：11
- 2013年
- 永磁同步平面电机具有直接驱动、出力密度高、低热耗、高精度等特点,在现代精密、超精密加工装备,特别是在极紫外光刻机中具有广阔的应用前景。根据永磁阵列和线圈阵列的结构形式将永磁同步平面电机划分为组合式、半组合式、绕组层叠式和对称式永磁同步平面电机4类,并介绍了各种类型平面电机的特点,总结了永磁同步平面电机关键技术的发展现状,针对目前永磁同步平面电机存在的不足,讨论了未来永磁同步平面电机发展的趋势与方向。
- 寇宝泉张鲁邢丰李立毅张赫
- 关键词：光刻机
- Development of the High-performance Synchronous Permanent Magnet Planar Motor and Its Key Technologies被引量：6
- 2013年
- 永磁同步平面电机具有直接驱动、出力密度高、低热耗、高精度等特点,在现代精密、超精密加工装备,特别是在极紫外光刻机中具有广阔的应用前景。根据永磁阵列和线圈阵列的结构形式将永磁同步平面电机划分为组合式、半组合式、绕组层叠式和对称式永磁同步平面电机4类,并介绍了各种类型平面电机的特点,总结了永磁同步平面电机关键技术的发展现状,针对目前永磁同步平面电机存在的不足,讨论了未来永磁同步平面电机发展的趋势与方向。
- 寇宝泉张鲁邢丰李立毅张赫
- 关键词：平面电机光刻技术集成电路制造平版印刷技术
