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郑盼盼

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：电子电信机械工程建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇建筑科学

主题

  • 3篇纳米
  • 2篇热固化
  • 2篇转印
  • 2篇紫外固化
  • 2篇牺牲层
  • 2篇纳米压印
  • 2篇刻蚀
  • 2篇灰度
  • 2篇光刻
  • 2篇干法刻蚀
  • 1篇电容
  • 1篇掩膜
  • 1篇圆形孔洞
  • 1篇三明治
  • 1篇填充层
  • 1篇平坦化
  • 1篇自对准
  • 1篇微机械加速度...
  • 1篇小孔
  • 1篇离子束

机构

  • 6篇华中科技大学

作者

  • 6篇郑盼盼
  • 3篇李攀
  • 2篇曾成
  • 2篇卢宏
  • 2篇缪向水
  • 2篇童浩
  • 2篇夏金松
  • 1篇许蔚
  • 1篇徐巍
  • 1篇苏俊

年份

  • 2篇2025
  • 2篇2024
  • 1篇2021
  • 1篇2016
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法
本发明公开了一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法，属于半导体学中的微观结构技术领域。包括：将2.5D微纳结构的高度分成2<Sup>N</Sup>个等级，建立对应的N张二元曝光版图，其中N＞I；再获取所述N张二元曝光版图...
李攀卢宏夏金松李宇航曾成郑盼盼
电容式微机械加速度计“三明治”结构封装技术研究
随着MEMS传感器件越来越广泛的应用，MEMS器件的封装技术也越来越受到关注。封装技术的应用受各种因素的限制，比如材料、温度、强度、气密性、封装器件或芯片的结构以及成本等。本文针对电容式MEMS加速度计“三明治”结构的封...
郑盼盼
关键词：MEMS封装微机械加速度计
一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法
本发明公开了一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法，属于半导体学中的微观结构技术领域。包括：将2.5D微纳结构的高度分成2<Sup>N</Sup>个等级，建立对应的N张二元曝光版图，其中N＞I；再获取所述N张二元曝光版图...
李攀卢宏夏金松李宇航曾成郑盼盼
文献传递
一种基于自对准双重成像的三维存储器制备工艺
本发明提供一种基于自对准双重成像的三维存储器制备工艺，包括：在三维存储器基片上形成第一网状掩膜层，通过刻蚀将第一网状掩膜层的图案转移到三维存储器基片上形成圆形孔洞阵列；在三维存储器基片上形成第二网状掩膜层，通过刻蚀将第二...
童浩汪宾浩郑盼盼缪向水
一种利用聚焦离子束制备纳米级小孔存储器透射电镜样品的方法
本发明提供了一种利用聚焦离子束制备纳米级纳米级小孔存储器透射电镜样品的方法。本发明的透射电镜样品的方法，小孔的直径与第二保护层、第四保护层的宽度相同，即第二保护层、第四保护层均为细条状保护层；而第一保护层、第三保护层的宽...
苏俊李攀徐巍许蔚郑盼盼
一种三维存储器制备工艺
本发明提供一种三维存储器制备工艺，包括：在三维存储器基片上形成第一硬掩模层，在第一硬掩模层上成第一网状掩膜层，其网线宽为a，网格宽为b；以第一网状掩膜层为掩膜对第一硬掩模层各向异性刻蚀，形成圆形通孔阵列，以第一硬掩模层为...
童浩汪宾浩郑盼盼缪向水
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