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刘雨君
作品数:
1
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供职机构:
西安交通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘慧玲
西安交通大学
任韧
西安交通大学
任大男
西安交通大学
徐进
西安交通大学
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徐进
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任韧
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刘慧玲
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刘雨君
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2010
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光刻探头的共振压力显微系统的研究
2010年
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。
任韧
徐进
刘雨君
刘慧玲
任大男
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