您的位置: 专家智库 > >

刘雨君

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:西安交通大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇探头
  • 1篇空间分辨率
  • 1篇光刻
  • 1篇分辨率

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇徐进
  • 1篇任大男
  • 1篇任韧
  • 1篇刘慧玲
  • 1篇刘雨君

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
光刻探头的共振压力显微系统的研究
2010年
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。
任韧徐进刘雨君刘慧玲任大男
关键词:空间分辨率
共1页<1>
聚类工具0