尹永刚
- 作品数：8 被引量：11H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程交通运输工程更多>>
- 硅微谐振加速度计的模态分析与实验被引量：6
- 2019年
- 针对硅微谐振加速度计在进行结构设计时,如何根据模态特性选取工作模态这一问题,比较分析了加速度计工作在两种不同振动模态下的性能参数。首先采用刚度法分析了谐振器的振动特性,得出能够反映谐振器振动状态的两种模态即同相振动模态和反相振动模态,结合理论推导和仿真结果得出两种振动模态下谐振频率差值与标度因数差值呈线性关系;其次通过分析两种振动模态下的能量分布情况,得出两种振动模态下谐振器的品质因数与振梁振动幅值之间的关系,同相模态振动一个周期所消耗能量约为反相模态所消耗能量的2倍;最后通过评估硅微谐振加速度计的噪声,阐明了两种振动模态下部分噪声分量不同的原因并进行了实验验证。实验结果表明,在相同驱动电压下,同相模态相比反相模态总体噪声增大25.7%。该研究为设计硅微谐振式加速度计时,确定谐振器的振动模态及驱动方案提供了参考依据。
- 张秀丽何晓飞尹永刚方政翔韩丰田
- 关键词：模态分析
- MEMS传感器结构
- 本实用新型涉及一种MEMS传感器结构，包括一封装管壳、一连接部及一MEMS传感器，MEMS传感器包括层叠设置的一基底及一敏感结构，基底包括一第一区域、一第二区域及一第三区域，第二区域设置在第一区域与第三区域之间，第二区域...
- 刘云峰严斌尹永刚董景新
- 文献传递
- 常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高被引量：5
- 2016年
- 考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计(MSRA)的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针对结构热膨胀导致的应力进行了建模仿真,并根据仿真结果优化设计了一种低热应力的双端固支梁的结构来降低热膨胀系数不匹配带来的频率漂移。实验测得新结构的单梁谐振频率的温度系数从典型结构的约30Hz/℃降为-1.5Hz/℃,与仿真结果-1.14Hz/℃基本一致。为了进一步提高该加速度计的零偏稳定性,设计了一种高精度测温电路用来补偿温漂,该电路测温灵敏度为96.25mV/℃,测量噪声约为0.000 2℃。实验结果表明,采用优化后的结构结合线性温度补偿的方法,可使该硅微谐振加速度计的1h零偏稳定性在常温下达到10μg以下,比改进前实验室获得的52μg水平提升了80%,满足了高精度加速度测量的要求。
- 严斌尹永刚董景新
- 关键词：硅微加速度计谐振梁结构优化温度补偿零偏稳定性
- MEMS加速度计
- 本发明涉及一种MEMS加速度计，包括基底、两个支撑体、第一敏感结构、第二敏感结构以及用于连接第二敏感结构和第一敏感结构的承重梁。两个支撑体固定于基底表面，且相对间隔设置。承重梁架设于两个支撑体之间，且与两个支撑体分别固定...
- 尹永刚韩丰田方政翔吴秋平董景新刘云峰
- 文献传递
- 用于新型等效原理空间实验检验的静电加速度计设计
- 2016年
- 等效原理是爱因斯坦广义相对论的基本假设之一,在更高精度上检验等效原理是否成立可以预言新型基本相互作用力。新型等效原理是我国科技工作者提出的一种假设,通过检验两个相同材料但自旋状态不同的宏观物体的自由落体运动来检验等效原理可能存在的破坏。提出了一种面向空间检验新型等效原理的差分静电加速度计设计方案,给出了地面实验用原理样机的结构设计,对结构模态和温度应力进行了有限元仿真;依据支承刚度和量程约束条件,对径向和轴向静电支承控制回路进行了设计和仿真分析;建模分析了高真空下转子静电加转驱动回路的主要性能,仿真结果表明启动过程中达到目标转速（10^4 rpm）的启动时间为36.9 min。
- 韩丰田李林林尹永刚刘天一
- 带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置
- 本发明涉及微谐振系统技术领域，特别是涉及一种带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置。该带有片上温控的微谐振式加速度计包括微谐振检测结构和加热结构，以及用于承载微谐振检测结构和加热结构的基底，加热结构沿微谐振检测结构的...
- 方政翔韩丰田尹永刚吴秋平董景新刘云峰
- 文献传递
- 带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置
- 本发明涉及微谐振系统技术领域，特别是涉及一种带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置。该带有片上温控的微谐振式加速度计包括微谐振检测结构和加热结构，以及用于承载微谐振检测结构和加热结构的基底，加热结构沿微谐振检测结构的...
- 方政翔韩丰田尹永刚吴秋平董景新刘云峰
- 文献传递
- MEMS加速度计
- 本发明涉及一种MEMS加速度计，包括基底、两个支撑体、第一敏感结构、第二敏感结构以及用于连接第二敏感结构和第一敏感结构的承重梁。两个支撑体固定于基底表面，且相对间隔设置。承重梁架设于两个支撑体之间，且与两个支撑体分别固定...
- 尹永刚韩丰田方政翔吴秋平董景新刘云峰
- 文献传递
