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徐栋梁

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
发文基金：教育部重点实验室开放基金中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇演化算法
  • 1篇三维仿真
  • 1篇刻蚀
  • 1篇硅刻蚀
  • 1篇仿真

机构

  • 2篇合肥工业大学
  • 1篇温州大学

作者

  • 2篇张鉴
  • 2篇徐栋梁
  • 1篇许晓琳
  • 1篇胡智文
  • 1篇戚昊琛

传媒

  • 1篇电子科技
  • 1篇电子学报

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微机械加工工艺的三维仿真模型及算法被引量：1
2010年
文中对近年来国内外关于微机械加工工艺表面形貌模拟的三维仿真模型及算法进行了较为详细的介绍与比较,并辅以实例的仿真结果,以使对微机械加工的三维工艺仿真有较全面的认识。
徐栋梁张鉴许晓琳
一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法被引量：2
2011年
针对硅微加工中的刻蚀工艺模拟应用,提出了一种基于点元网格和单位法向量的三维表面演化算法.在形成的连续曲面上,以高斯积分法得到点元步进的单位法向量,实现三维表面的构建与推进.根据典型的刻蚀工艺及其物理模型,该表面演化算法能够用于硅等离子体刻蚀等与表面演化方向相关的工艺模拟.参照简单的各向同性刻蚀,利用该三维算法实现了不同视角的三维硅刻蚀工艺的模拟结果,通过与相关实验结果的对比,验证了这种新型三维表面演化算法对相关工艺描述的实用性与准确性.
张鉴戚昊琛徐栋梁胡智文
关键词：硅刻蚀
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