王榕
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金清华大学实验室开放基金资助项目国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程核科学技术电子电信更多>>
- 聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用被引量：3
- 2014年
- 近年来,聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,广泛应用于材料科学、微纳加工、半导体器件制造中。尤其是其精密加工和定位加工的特点,获得了众多研究者的青睐。本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用。
- 王榕杨文言
- 10MW高温气冷实验堆中烧结金属过滤元件过滤机理研究被引量：1
- 2014年
- 10 MW高温气冷实验堆中石墨粉尘的产生会对一回路冷却剂氦气的品质以及高温堆内仪器设备的可靠运行带来很大的挑战,因此在一回路氦净化系统入口处设置了高性能不锈钢烧结金属过滤元件来确保系统的安全运行。组合不同过滤精度的过滤元件可以对石墨粉尘的粒径分布等进行研究,提供10 MW高温堆不同运行状况下石墨粉尘的相关信息,对反应堆安全正常运行具有重要意义。本文针对过滤元件的过滤机理进行了研究,对过滤效率的理论模型进行了分析,利用聚焦粒子束扫描电子显微镜观察烧结金属过滤元件的表面微观结构特征,为高温堆中石墨粉尘的取样测量研究奠定了基础。
- 皮月谢锋曹建主王榕吴引江
- 关键词：扫描电镜微观结构
- 聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用
- 本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用.指出聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,成为材料科学、微纳加工、半导体器件制造等应用中的一种重要手段.尤其是其精密加工和定位加工的特点,获得了众...
- 王榕杨文言
- 关键词：扫描电镜材料性能工程应用
- 文献传递
