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王钦
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2
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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合作作者
刘广同
中国科学院物理研究所
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作者
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刘广同
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王钦
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2018
1篇
2016
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用于二维电子气结构的退火炉
本发明涉及用于二维电子气结构的退火炉。一种退火炉包括:炉体,包括:基座;罩,气密地覆盖基座以限定退火空间;样品台,设置在退火空间中以支承退火样品;加热部件,设置在样品台内部;温度传感器,设置在样品台上;以及气路限定部件,...
王钦
刘广同
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用于二维电子气结构的退火炉
本发明涉及用于二维电子气结构的退火炉。一种退火炉包括:炉体,包括:基座;罩,气密地覆盖基座以限定退火空间;样品台,设置在退火空间中以支承退火样品;加热部件,设置在样品台内部;温度传感器,设置在样品台上;以及气路限定部件,...
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