李晓
- 作品数:2 被引量:8H指数:1
- 供职机构:长春理工大学光电工程学院更多>>
- 相关领域:机械工程电子电信更多>>
- 基于铝酸镁尖晶石材料的化学机械抛光工艺技术研究被引量:1
- 2017年
- 透明铝酸镁尖晶石(MgAl_2O_4)具有优异的光学性能,随着光电技术的发展,铝酸镁尖晶石的需求量日益增加,对其表面质量也提出更高的要求。分析了铝酸镁尖晶石材料的特性,针对铝酸镁尖晶石材料硬度大,加工效率低等难点,依据普林斯顿方程加工理论,采用化学机械方法对镁铝尖晶石进行抛光。通过实验研究了影响铝酸镁尖晶石研抛工艺过程的因素并对工艺参数进行了优化,使铝酸镁尖晶石表面质量及加工效率得到了有效提高。
- 刘冬梅李晓付秀华贾宗合郭贵新
- 基于散粒磨料振动抛光非球面加工技术研究被引量:7
- 2017年
- 鉴于非球面光学元件的应用日益广泛,非球面加工技术成为研究热点,提出一种基于散粒磨料振动抛光非球面的加工方法。非球面元件待抛光表面与磨粒均匀接触,通过振动抛光装置为游离磨粒提供抛光作用力,使材料去除均匀,降低表面粗糙度。以材料为ZK-10L、尺寸为Φ55mm的光学元件为实验对象,分析了振动幅度、抛光液浓度、磨粒粒径和抛光时间对抛光效果的影响,当振动幅度为5mm、抛光液浓度为80g/L、磨粒粒径为1mm时,振动抛光8h后试件的表面粗糙度从84.4nm降低到9.4nm,而试件的面形精度基本不变,从而在保证面形的前提下达到抛光的目的。
- 郭贵新贾宗合付秀华刘冬梅李晓
- 关键词:非球面表面粗糙度