范慧敏
- 作品数：3 被引量：4H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 并行像散共焦序列图片的物点正焦信息萃取被引量：1
- 2011年
- 并行像散共焦系统是基于共焦探测原理实现微结构的三维形貌测量。采用微透镜阵列进行光束分割，实现并行探测。引入像散原理减小光学系统中的干扰和波动对探测特性的影响。通过萃取图片序列中各个并行物点探测曲线的“零”点，实现物点正焦位置辨识。阐述了基于序列图片萃取物点探测曲线“零”点过程中涉及的图片序列中并行光场的定位与分割策略、差动光能统计算法的优化与实现、物点探测曲线轴向有效区域裁定及其特性拟合等关键问题。据此开发的软件“微结构探测系统”能够快速可靠地实现全场物点正焦信息萃取，为微结构形貌的精确三维建模及可视化测量奠定了基础。
- 刘文文余晓芬范慧敏
- 关键词：计量学像散
- 基于像散原理的并行共聚焦探测曲线灵敏度研究被引量：2
- 2011年
- 为了高效、快速的实现微结构三维可视化,对基于像散原理并行共聚焦光学系统中探测曲线过零点灵敏度的影响因素进行了研究。从几何光学的角度,建立探测曲线过零点的灵敏度与柱面镜组参数之间的关系,然后利用Zemax对结论进行仿真,其结果提供了获得最佳柱面镜参数及其设计方法。同时,为了进一步提高探测曲线灵敏度,对已有的四象限法进行改进,提出了去对角四象限法,并在MatLab中对两种方法做了比较,其仿真结果证明去对角四象限法可以有效地提高探测曲线过零点的灵敏度。
- 范慧敏刘文文
- 关键词：灵敏度
- 并行像散共焦微结构探测光学系统分析与设计被引量：2
- 2012年
- 以提高光学系统对测点正焦位置辨识精度为目标分析设计并行像散共焦系统。设计基于远心光路,采用20倍长工作距显微物镜作为系统物镜,采用2片正交对称配置的薄柱面镜组建像散镜组取代探测光路中的管镜,通过对像散镜组参数优化实现探测曲线过零点灵敏度的最大化,并利用像散原理的差动算法有效抑制了光学系统各种噪声和漂移对像散光场稳定性的影响,获得了高灵敏度、高稳定性、较好一致性的全场探测曲线。通过大量实验证明了优化像散镜组参数对提升探测曲线灵敏度的作用,证明了并行像散光场探测曲线有良好的稳定性,全场测点的正焦位置辨识精度能够达到50 nm。
- 刘文文余晓芬王永红余卿范慧敏
- 关键词：微结构纳米
