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邓刚

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：重庆光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇图像
  • 1篇图像传感器
  • 1篇减薄
  • 1篇感器
  • 1篇CCD
  • 1篇成像
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇重庆光电技术...

作者

  • 1篇钟四成
  • 1篇韩恒利
  • 1篇邓刚

传媒

  • 1篇电子科技

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
背照式CCD图像传感器减薄技术研究被引量：7
2014年
提出了一种研磨减薄和化学腐蚀结合的方法,减薄CCD衬底。研磨减薄采用三氧化二铝的颗粒,减薄硅片至100μm,化学腐蚀采用HF酸、硝酸、冰乙酸组成的混合溶液。实验表明,HF酸、硝酸、冰乙酸比例为2∶1∶11时,混合溶液对衬底与外延层的腐蚀速率比达到89∶1。使用本技术减薄1 024×512可见光CCD,实现了背照式成像。
邓刚韩恒利钟四成
关键词：CCD减薄成像
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共1页<1>
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