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杨红磊
作品数:
1
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供职机构:
曲靖师范学院物理与电子工程学院
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
曾永平
曲靖师范学院物理与电子工程学院
徐利兵
曲靖师范学院物理与电子工程学院
陶淑芬
曲靖师范学院物理与电子工程学院
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2011
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热蒸发制备Zn/ZnO薄膜的实验研究
2011年
本文采用低真空热蒸发技术,以锌作为蒸发源,通过调节蒸发时间,蒸发温度,真空度等工艺参数,在玻璃基底上获得薄膜样品,再对薄膜进行退火处理。实验结果表明:采用低真空蒸发镀膜法可以制备得到取向很好的Zn(002)单晶薄膜,薄膜样品在450℃真空条件下做退火处理后,进一步提高金属锌膜薄膜单晶性;样品经300℃大气下退火处理后,可得取向(101)的强织构ZnO结构。
曾永平
陶淑芬
徐利兵
杨红磊
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ZNO薄膜
退火处理
晶体结构
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