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苏卫国

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇电容式
  • 1篇电容式微加速...
  • 1篇微加速度计
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇南开大学

作者

  • 1篇卢桂章
  • 1篇金桐
  • 1篇谭宜勇
  • 1篇赵新
  • 1篇苏卫国

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电容式微加速度计的研制被引量：4
2008年
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
谭宜勇金桐苏卫国赵新卢桂章
关键词：MEMS电容式微加速度计
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共1页<1>
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