公共文化服务平台

共 1 条记录，以下是 1-1

全选清除导出

排序方式：

大面积金刚石薄膜的均匀性被引量：3: 2007年; 金刚石膜具有优异的电学、热学性质,均匀的大面积金刚石膜是其在电子领域工业化应用的前提。利用自行设计微波等离子体化学气相沉积装置在直径51 mm和76 mm硅片上制备金刚石薄膜。用扫描电子显微镜观察所得金刚石膜的表面形貌,用ZC36高阻仪测量金刚石薄膜的电阻率。通过电阻率和形貌的均匀性判断金刚石薄膜的均匀性。结果表明,基片位置的变化引起沉积温度和含碳基团的种类、浓度与原子氢浓度的改变,从而影响了金刚石薄膜的形核和生长过程,最终影响金刚石膜的均匀性。直径51 mm金刚石薄膜表面形貌比直径76 mm的薄膜更均匀,但两种尺寸金刚石膜中间和四周的电阻率数值都接近,达到108Ω.cm,电阻率均匀性好。; 苟立刘炼冉均国戴孟乔郑元元; 关键词：金刚石膜微波等离子体化学气相沉积电阻率均匀性

全选清除导出

共1页<1>

刘炼