朱迪
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：南京工程学院材料工程学院更多>>
- 发文基金：江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 直流脉冲磁控溅射铜膜的结构与性能研究被引量：6
- 2017年
- 采用直流脉冲磁控溅射法制备铜膜,利用X射线衍射法分析薄膜相结构,通过扫描电镜观察薄膜形貌,基于纳米压痕载荷-位移曲线计算薄膜的硬度、弹性模量和接触刚度,同时采用显微硬度法测量薄膜硬度,系统研究了溅射功率和偏压对铜膜结构和力学性能的影响。结果表明,通过纳米压痕载荷-位移曲线计算薄膜力学性能是可靠的。随着溅射功率的增大,铜膜生长取向几乎无变化,均呈无择优生长状态,弹性模量、接触刚度基本不变,硬度略有减小;偏压增大会使铜膜呈现明显的(111)取向生长,接触刚度、弹性模量和硬度呈下降趋势。
- 谈淑咏张旭海朱迪陈健蒋建清
- 关键词：纳米压痕弹性模量接触刚度
- 基于纳米压痕载荷-位移曲线的磁控溅射镍涂层力学性能计算被引量：1
- 2017年
- 利用纳米压痕载荷-位移曲线计算了直流脉冲磁控溅射镍涂层的硬度、弹性模量和接触刚度。研究了溅射功率和偏压对镍涂层结构和力学性能的影响。结果表明,随溅射功率的增大,镍涂层生长取向均呈无择优生长状态,弹性模量、接触刚度变化不大,硬度先增加后减小。偏压增大会使镍涂层呈现明显的(111)取向生长,接触刚度增大,弹性模量和硬度都先增大后减小。
- 陈健朱迪田增谈淑咏
- 关键词：纳米压痕弹性模量接触刚度
