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李响

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：北京工业大学应用数理学院更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇纳米
  • 1篇纳米线
  • 1篇金纳米线
  • 1篇光刻
  • 1篇光栅
  • 1篇干涉光刻

机构

  • 1篇河北师范大学
  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇庞兆广
  • 1篇张新平
  • 1篇李响

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大面积金纳米线光栅的制备被引量：3
2011年
利用激光干涉光刻和金纳米颗粒胶体溶液制备了宽度在100nm以下且总面积达到平方厘米量级的金纳米线光栅结构.制备过程中,首先在表面镀有厚度约为200nm的铟锡氧化物薄膜的面积为1cm×1cm的玻璃基片表面旋涂光刻胶,然后利用紫外激光干涉光刻制备光刻胶纳米光栅结构.有效控制干涉光刻过程中的曝光量、显影时间,获得小占空比的光刻胶光栅.再以光刻胶纳米光栅作为模板,旋涂金纳米颗粒胶体溶液.充分利用金纳米颗粒胶体溶液在光刻胶表面浸润性差的特点,限制旋涂后留存在光刻胶光栅槽中金纳米颗粒的数量,从而达到限制金纳米线宽度的目的.最后在250℃将样品进行退火处理5min.获得了周期为400nm且占空比小于1:4的金纳米线光栅结构,其有效面积为1cm2.以波导共振模式与粒子等离子共振模式间耦合作用为特征的光谱学响应特性验证了波导耦合金属光子晶体的成功制备,为小传感体积新型生物传感器的开发提供了性能良好的金属光子晶体芯片.
李响庞兆广张新平
关键词：干涉光刻
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