薛向融
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：上海工程技术大学材料工程学院更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会重点学科基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- 基底材料对磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜特性的影响被引量：1
- 2008年
- 采用磁控共溅射工艺来制备Al-Cu-Fe薄膜,选用抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料。通过原子力显微镜分析薄膜的表面形貌,利用扫描电镜能谱仪分析薄膜的元素含量;通过MTS纳米力学综合测试系统分析薄膜的结合强度和摩擦因数。分析结果表明:不锈钢作为基底材料的薄膜与基体的结合强度最大,其次为纯铝和纯铜。纯铜基底薄膜的摩擦因数最大,达到0.17,其余两种薄膜的摩擦因数均不大于0.03。而薄膜表面形貌与基底材料的原始形貌有直接的联系,基底原始粗糙度越小,薄膜的表面组织也越细;基底原始粗糙度越大,薄膜表面形成的晶粒的团聚越明显。
- 周细应薛向融徐洲
- 关键词：磁控共溅射表面形貌粗糙度
- 基底材料对Al-Cu-Fe共溅射薄膜的影响
- 2008年
- 以抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料,采用磁控共溅射工艺来制备Al-Cu-Fe薄膜。利用原子力显微镜、能谱仪和MTS纳米力学综合测试系统分析薄膜的表面形貌、元素含量、结合强度和摩擦系数。分析结果表明:不锈钢作为基底材料的薄膜与基体的结合强度最大,其次为纯铝和纯铜。纯铜基底薄膜的摩擦系数最大,达到0.17,其余两种薄膜的摩擦系数均低于0.03。而薄膜表面形貌与基底材料的原始形貌有直接的联系,基底原始粗糙度越细小;薄膜的表面组织也细小;基底原始粗糙度越大,薄膜表面形成的晶粒的团聚越明显。这说明基底材料对薄膜的形成有重要的影响。
- 周细应薛向融徐洲
- 关键词：表面形貌
