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陶军

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第五十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇卧式
  • 1篇NH3
  • 1篇NH4CL
  • 1篇DCS

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇缪海滨
  • 1篇林丽
  • 1篇陶军

传媒

  • 1篇电子与封装

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
早期热壁卧式LPSIN工艺的优化改进
2007年
文章针对早期热壁卧式LPSIN系统所遇到的颗粒问题,详细阐述了颗粒问题产生的原因,包括DCS气体、工艺压力、反应生成物。针对这些颗粒成因提出了相应有效的优化方法,通过实践每一种优化方法都可以降低LPSIN工艺的颗粒,综合所有优化方法有效地降低了LPSIN工艺的颗粒,极大地延长了设备PM的间隔,提高了LPSIN工艺的质量,大幅提高了设备的流片产能,在不对设备硬件做大的改动的情况下使设备的能力得到了大的改进。
缪海滨陶军林丽
关键词：DCSNH3NH4CL
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