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冷文健
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
电子电信
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合作作者
陈宏伟
电子科技大学光电信息学院电子薄...
杨传仁
电子科技大学光电信息学院电子薄...
张继华
电子科技大学光电信息学院电子薄...
裴亚芳
电子科技大学光电信息学院电子薄...
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文献类型
2篇
中文期刊文章
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1篇
电子电信
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电气工程
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一般工业技术
主题
1篇
电性能
1篇
射频磁控
1篇
射频磁控溅射
1篇
铁电
1篇
铁电薄膜
1篇
微结构
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介电
1篇
介电性
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介电性能
1篇
溅射
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TIO
1篇
磁控
1篇
磁控溅射
1篇
X
1篇
PB
1篇
PST
机构
2篇
电子科技大学
作者
2篇
裴亚芳
2篇
张继华
2篇
杨传仁
2篇
陈宏伟
2篇
冷文健
传媒
1篇
绝缘材料
1篇
压电与声光
年份
1篇
2007
1篇
2006
共
2
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Pb_xSr_(1-x)TiO_3陶瓷及薄膜的制备和性能研究
2007年
研究了Pb的摩尔分数对PbxSr1-xTiO3(x=0.2~0.8)陶瓷微结构和介电性能的影响,当x〈0.45时晶体为立方相,x≥0.45时为四方相;随着Pb的摩尔分数增大,陶瓷气孔率下降,致密度增加,晶粒尺寸逐渐增大,居里峰近似线性地向高温方向移动,并具有一致的居里外斯常数。采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)上制备了Pb0.3Sr0.7TiO3(PST30)薄膜,经550℃退火后为(111)择优取向的多晶薄膜,1kHz下的可调率为21.8%。
裴亚芳
杨传仁
陈宏伟
张继华
冷文健
关键词:
射频磁控溅射
微结构
介电性能
钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展
被引量:5
2006年
综述了钛酸锶铅(PST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺:溶胶-凝胶(Sol_gel)法、磁控溅射(Magnetron Sput-tering)、脉冲激光沉积(PLD)和金属有机化学气相沉积(MOCVD),并简要介绍了PST目前的研究进展以及PST薄膜在铁电移相器、动态随机存储器(DRAM)和热释电红外探测器方面的应用,提出了发展展望。
裴亚芳
杨传仁
陈宏伟
张继华
冷文健
关键词:
铁电薄膜
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