李定
- 作品数：2 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 热载荷条件下TiO_2薄膜热应力有限元分析（英文）被引量：1
- 2015年
- 在高温环境下,由于不匹配性而产生的热应力是影响薄膜结构及性能稳定性的重要因素。本文使用有限元的方法,从热应力的角度研究分析了高温环境下导致薄膜损伤的内在机理及相关可能的改善方法。仿真结果表明,在高温环境下,基板与薄膜匹配性对系统热应力的大小及结构的稳定性有非常大的影响;相比白宝石//Ti O2系统,Si//Ti O2薄膜存在较高的应力水平及边缘应力集中与突变现象;采用Ti O2+Si O2复合过渡层的方法对于降低和调控薄膜-基底应力梯度的变化有很好的作用。
- 尚鹏李定艾万君熊胜明
- 关键词：热应力有限元方法
- 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性被引量：8
- 2015年
- 以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7μm高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7μm反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良的环境稳定性。
- 李定熊胜明
- 关键词：氧化物薄膜离子束溅射中红外
