陈媛
- 作品数：21 被引量：21H指数：3
- 供职机构：上海市激光技术研究所更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家商用飞机制造工程技术研究中心创新基金上海市科学技术委员会科研基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
- 基于正交试验的激光标识工艺研究被引量：1
- 2022年
- 采用1060 nm光纤打标机在2024铝合金表面进行方形标识,主要研究扫描速度、填充间隔、激光平均功率等工艺参数对铝合金材料表面标识效果的影响。基于正交试验的方法,根据3因素5水平正交表设计激光加工的工艺参数,利用色差仪和超景深三维显微镜对激光标识效果的色差和表面形貌粗糙度进行测量。试验结果表明,激光标识时扫描轨迹的重叠率和光斑重叠率是影响色差的主要因素,激光标识时材料吸收激光的能量大小和热影响是影响粗糙度的主要因素。经过正交极差优化后的最佳参数组合为扫描速度V=644 mm/s,填充间隔F=0.028 mm,激光功率P=15 W,最终标识效果为表面粗糙度为1.5μm,色差为9.41 NBS。
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- 关键词：表面粗糙度色差正交试验
- 355 nm紫外激光在硅晶圆上标识二维码的工艺研究
- 2023年
- 利用紫外纳秒标识系统对硅晶圆表面进行二维码直接标识试验研究。采用控制变量法,分别研究不同的脉冲占空比、重复频率、光斑重叠率对标识材料的热损伤、表面形貌以及二维码识读效果的影响规律。研究结果表明,脉冲占空比和重复频率对标识区域的环宽和热损伤影响效果明显,二维码的读取率和识读时间同时受占空比、重复频率、光斑重叠率影响。单脉冲能量在10.7~20μJ范围内可以标识出符合SEMI标准的均匀、细腻、稳定、高识读率的无尘标识。
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- 关键词：硅晶圆热损伤
- 基于1060 nm MOPA激光器直接标识铝合金(2024)的形貌及其机理分析
- 2021年
- 采用1 060 nm MOPA激光器对铝合金(2024)进行标识。研究了不同功率下DM码的质量等级和对比度,使用扫描电镜(SEM)观察了标识的表面形貌,使用能谱仪分析了标识表面的成分组成。通过SEM分析,得到在DM码质量等级较高的标识表面,材料被熔化、气化、烧蚀,有大量孔洞和颗粒状物质存在,而在DM码质量等级较低的标识表面,材料仅仅被重铸,表面呈波纹状;通过EDS分析,得到在DM码质量等级较高的标识表面,材料中氧元素含量升高,说明熔化、气化的金属发生氧化反应,而在DM码质量等级较低的标识表面,材料中氧元素增加较少,说明在此条件下金属氧化反应较少。对材料的烧蚀阈值进行计算,为试验提供理论指导。
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- 关键词：MOPA形貌分析
- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置
- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置，其特征在于：它包括激光器(1)、起偏器(2)、短焦距凹透镜(3)和长焦距凸透镜(4)、液晶空间光调制器(5)、计算机(6)、短焦距凸透镜(7)、长焦距凹透镜(8)、平场聚焦透镜...
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- 文献传递
- 晶圆激光打标装置
- 本申请涉及一种晶圆激光打标装置，包括底座、激光发射机、电动衰减器、分束镜、功率探头、振镜以及校准器。其中激光发射机安装在所述底座上，电动衰减器设置在所述激光发射机发射的激光光路上，分束镜设置在通过所述电动衰减器后的光路上...
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- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置
- 基于液晶空间光调制器的激光标识二维码的装置，其特征在于：它包括激光器(1)、起偏器(2)、短焦距凹透镜(3)和长焦距凸透镜(4)、液晶空间光调制器(5)、计算机(6)、短焦距凸透镜(7)、长焦距凹透镜(8)、平场聚焦透镜...
- 张玲玲陈媛李国旗谭清宇王健超张伟
- 文献传递
- 基于1066 nm光纤激光对裸硅晶圆与镀膜晶圆的标识工艺研究
- 2023年
- 针对SEMI标准对12寸(约300 mm)薄晶圆标识的要求,采用1066 nm光纤激光晶圆标识系统对裸硅晶圆与镀膜晶圆进行激光标识工艺的研究。通过控制变量法改变激光器的功率百分比,分别在两种晶圆上标记Dot样式的SEMI字体,并对标识的质量和识读率进行评估。研究发现,裸硅晶圆标识从无到有,甚至到严重溅射对应的激光功率范围是11.77~19.25 W,镀膜后的硅晶圆对应的功率范围是4.40~11.77 W。在裸硅晶圆上标识的Dot形貌更符合SEMI标准要求。镀膜后的晶圆熔融阈值变小,但是工艺窗口变窄,标识字符和条码Dot圆度较差,飞溅不易控制。两种晶圆OCR的识读率差异不大。
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- 基于普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜的晶圆标识工艺的研究
- 2023年
- 为研究聚焦系统对晶圆标识工艺的影响,搭建以1 066 nm的声光调Q脉冲光纤激光器为光源,分别使用普通F-Theta透镜和远心F-Theta透镜的晶圆激光打标系统,使用相同的工艺参数分别在晶圆表面进行点阵标识,研究两种聚焦系统下晶圆的烧蚀阈值、离焦效果和点的形貌。采用白光干涉仪对晶圆标识区域的三维形貌进行评估,研究发现普通F-Theta透镜与远心F-Theta透镜对晶圆的烧蚀阈值的影响区别不大。在离焦效果方面,普通F-Theta透镜随着离焦量增加,标识点直径逐渐变小;而远心F-Theta透镜随着离焦量增加,标识点直径先增大后减小。在打标范围内的标识质量方面,两者在打标范围中心的标识质量基本相当,离中心越远,远心透镜也未能表现出更好的标识形貌。
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- 关键词：烧蚀阈值离焦量
- 405 nm激光诱导荧光检测系统的研制及其用于皮肤癌诊断的初步实验研究被引量：5
- 2019年
- 研制了一种小型化便携式的激光诱导荧光的检测系统。检测系统以405 nm的稳谱半导体激光器作为激光光源,荧光光纤探头和光纤作为荧光的收集系统,光栅光谱仪作为荧光分析装置,采集和分析经过5-氨基酮戊酸(ALA))处理后的鳞癌小鼠模型的原卟啉IX的荧光光谱,对皮肤癌开展光动力学荧光诊断的初步实验研究。
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- 关键词：激光诱导荧光5-氨基酮戊酸
- 激光直接物标标识铝合金(2024)工艺参数对表面粗糙度影响的研究被引量：1
- 2021年
- 聚焦激光直接物标标识铝合金(2024)工艺中,功率、填充间隔和重复频率等工艺参数对铝合金表面粗糙度的影响,旨在从形貌、产物成分两方面分析工艺参数与粗糙度之间的影响规律。首先采用1060 nm主控振荡器的功率放大激光器(master oscillator power-amplifier,MOPA)对铝合金2024进行标识,然后使用粗糙度检测仪测量不同工艺参数下的标识表面粗糙度值,结果表明,功率、填充间隔和重复频率影响材料表面熔化、气化、重铸程度,导致材料表面出现不同的粗糙度和不同的粗糙度变化规律。采用数码显微系统观测标识区域表面形貌,采用扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析了标识区域表面的化学成分,结果表明,不同的工艺参数造成标识表面熔化、气化、重铸程度会有明显差异,因而表面形貌和产物不同,影响标识表面粗糙度值。
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- 关键词：MOPA表面粗糙度形貌分析
