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刘颖
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1
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供职机构:
天津工程师范大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王雅欣
天津工程师范大学
姚素英
天津大学电子信息工程学院
王光伟
天津工程师范大学
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2010
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金属诱导a-Si横向结晶速率与外电场的关系
2010年
分析了外加直流电场对Al和Ni诱导非晶硅(a-Si)薄膜横向结晶速率的影响,指出,在热处理条件下,Al和Ni能加快诱导a-Si薄膜横向结晶的速率;适当强度的外加电场能明显加快金属诱导a-Si横向结晶速率;Al和Ni诱导a-Si结晶速率的增大主要是电场提高了扩散物的迁移率。但场强超过某临界值后该速率降低。基于电迁移效应,对此结果作了较合理的解释。结合文献,提出一经验公式,并用MATLAB模拟了外电场中Al和Ni诱导a-Si薄膜横向结晶速率曲线。
王光伟
姚素英
王雅欣
刘颖
关键词:
电迁移
晶粒长大
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