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李远飞
作品数:
1
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供职机构:
兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所
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发文基金:
磁学与磁性材料教育部重点实验室开放课题基金
甘肃省自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
张光辉
兰州大学物理科学与技术学院微电...
郭晗
兰州大学物理科学与技术学院微电...
彭应全
兰州大学物理科学与技术学院磁学...
袁建挺
兰州大学物理科学与技术学院微电...
李训栓
兰州大学物理科学与技术学院微电...
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作者
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李远飞
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郭晗
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张光辉
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真空
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2009
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采用真空镀膜制备的叠层结构有机场效应晶体管的研究
2009年
本文报道了一种叠层结构有机场效应管,它有别于一般的顶接触式和底接触式结构OFET。该器件采用真空镀膜制备,以SiO2作为绝缘层,酞菁铜CuPc作为沟道层。测量出其输出特性曲线,可看见较明显的场效应特性。对器件温度特性的研究表明,漏极电流随着温度的升高而增大。XRD分析表明,在Si/SiO2和Si/SiO2/Al两种衬底上蒸镀制备的CuPc薄膜呈多晶结构,且两种衬底上的CuPc薄膜晶粒尺度大致相等。
赵明
李训栓
宋长安
马朝柱
袁建挺
汪润生
李远飞
张光辉
郭晗
叶早晨
彭应全
关键词:
真空镀膜
叠层结构
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