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陈昊

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：江苏信息职业技术学院电子信息工程系更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇退火
  • 1篇微缺陷
  • 1篇硅衬底
  • 1篇凹坑
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇江苏信息职业...

作者

  • 1篇陈昊

传媒

  • 1篇南京工业职业...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半导体工艺中硅衬底凹坑缺陷的检测
2010年
通过两个角度分析加深晶体缺陷的概念理解,结合一次工艺生产中造成芯片失效的晶体缺陷检测,分析造成此次芯片失效的晶体缺陷的种类和位置,并且给出了解决方案。
陈昊
关键词：微缺陷凹坑退火
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共1页<1>
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