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马小峰
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
郑州大学机械工程学院
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发文基金:
上海市重大科技攻关项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
王栋
郑州大学机械工程学院
李大磊
郑州大学机械工程学院
胡书杰
郑州大学机械工程学院
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年份
1篇
2008
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基于引擎机制的PECVD工作过程的虚拟仿真
被引量:4
2008年
讨论了卧式PECVD的工作原理,对虚拟加工过程中仿真实现的关键技术进行了研究.基于Open Inventor开发平台强大的引擎机制,用程序实现了连续式等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)系统(In-line PECVD System)的虚拟加工工作过程的仿真,从而保证物理样机的设计成功率、减少物理样机的设计与试制时间.
王栋
马小峰
李大磊
胡书杰
关键词:
虚拟现实
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